ეს არის ერთგვარი დისტილაცია მაღალ ვაკუუმურ გარემოში, მასალის მოლეკულური მოძრაობის თავისუფალი გზის განსხვავებისთვის, ჩატარდა სითბოს მგრძნობიარე მასალაში ან მაღალი დუღილის წერტილის მასალის დისტილაციისა და გაწმენდის პროცესში. მოკლე გზაზე დისტილაცია ძირითადად გამოიყენება ქიმიურ, ფარმაცევტულ წარმოებაში. ნავთობქიმიური, სანელებლების, პლასტმასის, ნავთობისა და სხვა საბადოები.